Épurateurs cryogéniques
La micro-électronique nécessitant une extrême pureté exige moins de 1 ppb d’impureté (0,0000001 %) dans ses gaz process et vecteurs. Pour cette industrie, ULTRALTM, la gamme d'épurateurs cryogéniques d’Air Liquide, a été conçue afin de purifier l’hélium, l’hydrogène, l’azote ou l'argon par cryo-piégeage réversible sur un lit d’adsorbant haute performance.
