六氟化硫
单击并拖动来移动分子
物理性能
下沿平衡曲线固体（灰色），液体（蓝色）和蒸汽状态（白色）
- 一般特性
- 固相
- 液相
- 气相
-
分子量146.055克/摩尔
-
内容在干燥空气/
临界点
-
温度45.54℃下113.972°F318.69ķ
-
压力37.6酒吧3.76E6 PA545.3417磅/平方英寸37.1083大气压3760千帕2.8202E4毫米汞柱
-
密度735.72公斤/立方米45.9294磅/立方英尺
三相点
-
温度- 49.6℃下- 57.28°F223.55ķ
-
压力2.314酒吧2.314E5 PA33.5617磅/平方英寸2.2837大气压231.4千帕1735.6475毫米汞柱
压力
1.013巴
-
熔点- 50.7℃下- 59.26°F222.45ķ
-
熔化潜热（在熔点）34.399千焦耳/公斤14.7988 BTU /磅8.2216千卡/千克
-
固体密度/
压力
1.013巴
-
液体密度（在沸点）/
-
沸点（升华点）- 68.25℃下- 90.85°F204.9ķ
-
汽化潜热（在沸点）/
-
压缩因子Z9.8491E-19.8733E-19.8867E-1
-
CP / CV比γ1.10741.10171.0984
-
动力粘度1.3771E-4宝13.771μPa.s1.3771E-5帕9.2537E-6磅/英尺/秒1.4589E-4宝14.589μPa.s1.4589E-5帕9.8034E-6磅/英尺/秒1.5123E-4宝15.123μPa.s1.5123E-5帕1.0162E-5磅/英尺/秒
-
在沸点气体密度///
-
气体密度6.6161公斤/立方米4.1303E-1磅/立方英尺6.2563公斤/立方米3.9057E-1磅/立方英尺6.0383公斤/立方米3.7696E-1磅/立方英尺
-
在恒定压力下的Cp热容6.2783E-1千焦耳/（kg.K之间）1.5006E-1 BTU /磅∙°F627.83焦耳/千克∙ķ1.5006E-1千卡/千克∙ķ6.5296E-1千焦耳/（kg.K之间）1.5606E-1 BTU /磅∙°F652.96焦耳/千克∙ķ1.5606E-1千卡/千克∙ķ6.6899E-1千焦耳/（kg.K之间）1.5989E-1 BTU /磅∙°F668.99焦耳/千克∙ķ1.5989E-1千卡/千克∙ķ
-
在恒定体积了Cv热容量5.6695E-1千焦耳/（kg.K之间）1.355E-1 BTU /磅∙°F566.95焦耳/千克∙ķ1.355E-1千卡/千克∙ķ5.9271E-1千焦耳/（kg.K之间）1.4166E-1 BTU /磅∙°F592.71焦耳/千克∙ķ1.4166E-1千卡/千克∙ķ6.0908E-1千焦耳/（kg.K之间）1.4557E-1 BTU /磅∙°F609.08焦耳/千克∙ķ1.4557E-1千卡/千克∙ķ
-
液体（在沸点）/气体等效///
-
在水中的溶解度///
-
比重///
-
比容1.512E-1立方米/ kg的2.422立方英尺/磅1.599E-1立方米/ kg的2.5614立方英尺/磅1.656E-1立方米/ kg的2.6527立方英尺/磅
-
导热系数11.627毫瓦/米∙ķ6.7224E-3 BTU /英尺/小时/°F1.0004E-1卡/小时∙厘米∙℃下2.7789E-5卡/秒∙厘米∙℃下1.1627E-2 W /（米∙K）12.701毫瓦/米∙ķ7.3434E-3 BTU /英尺/小时/°F1.0928E-1卡/小时∙厘米∙℃下3.0356E-5卡/秒∙厘米∙℃下1.2701E-2 W /（米∙K）13.412毫瓦/米∙ķ7.7545E-3 BTU /英尺/小时/°F1.154E-1卡/小时∙厘米∙℃下3.2055E-5卡/秒∙厘米∙℃下1.3412E-2 W /（米∙K）
-
蒸汽压力///
应用
这种分子在工业和医疗用途的例子
半导体
在半导体和显示器的制造，六氟化硫提供氟源为高密度等离子体，而不产生副产物碳蚀刻。六氟化硫可用于蚀刻金属硅化物，氮化物和氧化物与它们的金属基材。它也是在制造显示用于化学气相沉积（CVD）反应器中的清洁。
半导体
其他
六氟化硫是用作电力变压器的电介质的绝缘材料。
安全性和兼容性
信息安全地使用这种分子
- 重大危险源
- 材料兼容性
-
GHS04高压气体
毒性的阈值
-
VME1000PPM要么 6000毫克/立方米
-
VLE/
-
ILV-8H/
-
ILV 15MN/
-
TLV-TWA（美国）1000PPM1000ppm的0.1体积％1.E-3体积/体积
-
TLV-STEL（美国）/
致死剂量
-
DL50（静脉注射兔）5790PPM
气味
没有
金属
-
铝满意的
-
黄铜满意的
-
蒙乃尔满意的
-
铜满意的
-
铁素体钢满意的
-
不锈钢满意的
-
锌没有数据
-
钛没有数据
塑料
-
聚四氟乙烯满意的
-
聚三氟氯乙烯满意的
-
聚偏氟乙烯满意的
-
聚氯乙烯满意的
-
乙烯 - 四氟乙烯满意的
-
聚碳酸酯没有数据
-
聚酰胺满意的
-
聚丙烯满意的
弹性体
-
丁
（isobutene-异戊二烯）橡胶满意的 -
丁腈橡胶NBR满意的
-
氯丁满意的
-
有机硅满意的
-
全氟没有数据
-
含氟弹性体满意的
-
氯丁橡胶满意的
-
聚氨酯满意的
-
乙烯 - 丙烯满意的
润滑油
-
基于碳氢化合物的润滑剂满意的
-
基于氟素润滑剂满意的
材料的相容性
建议：液化空气集团聚集在气体与材料的相容性数据，以帮助您评估使用的燃气系统的材料。尽管资料是从什么液化空气认为编译是可靠的来源（国际标准：与气体含量缸和阀门材料的兼容性;第1部分 - 金属材料：ISO11114-1（2012年3月），第2部分 - 非金属材料：ISO11114-2（2013年4月），它必须非常谨慎和工程判断中使用。如这些否原始数据可覆盖的浓度，温度，湿度，杂质和通气的所有条件。因此，建议此表只用于找出可能的材料在高压力和环境温度的应用程序。使用需要进行验证的材料选择给定应用的特定条件下的广泛调查和检验。联系地区液化空气集团的团队的专业服务。
