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三氟化氮
单击并拖动来移动分子
三氟化氮
单击并拖动来移动分子
NF3
三氟化氮

物理性质

在固体(灰色),液体(蓝色)和蒸汽状态(白色)沿平衡曲线

  • 一般性质
  • 固相
  • 液相
  • 气相
(P)
数(P)
下载
  • 分子量
    71.019
    克/摩尔
  • 内容在干燥空气
    /

临界点

  • 温度
    - 39.15
    ℃下
    - 38.47°F234ķ
  • 压力
    44.607
    酒吧
    4.4607E6 PA646.9696磅力/ in244.0237大气压4460.7千帕3.3458E4毫米汞柱
  • 密度
    597.91
    公斤/立方米
    37.3262磅/立方英尺

三相点

  • 温度
    - 206.69
    ℃下
    - 340.042°F66.46ķ
  • 压力
    1.854E-6
    酒吧
    1.854E-1 PA2.689E-5磅力/英寸21.8298E-6个大气压1.854E-4千帕1.3906E-3毫米汞柱
压力 1.013巴
  • 熔点
    - 206.69
    ℃下
    - 340.042°F66.46ķ
  • 熔化潜热(在熔点)
    5.603
    千焦耳/公斤
    2.4105 Btu /磅1.3391千卡/千克
  • 固体密度
    /
压力 1.013巴
  • 液体密度(在沸点)
    1537.863
    公斤/立方米
    96.0054磅/立方英尺
  • 沸点
    - 129.01
    ℃下
    - 200.218°F144.14ķ
  • 汽化潜热(在沸点)
    162.708
    千焦耳/公斤
    69.9988 BTU /磅38.8881千卡/千克
  • 压缩因子Z
    9.9515E-1
    9.9594 e 1
    9.9639E-1
  • CP / CV比γ
    1.1996
    1.1921
    1.1876
  • 动力粘度
    1.8123E-4
    18.123μPa.s1.8123E-5帕1.2178E-5磅/英尺/秒
    1.902E-4
    19.02μPa.s1.902E-5帕1.2781E-5磅/英尺/秒
    1.961E-4
    19.61µ宾夕法尼亚州1.961E-5帕1.3177E-5磅/英尺/秒
  • 在沸点气体密度
    6.239
    公斤/立方米
    3.8949E-1磅/立方英尺
    6.239
    公斤/立方米
    3.8949E-1磅/立方英尺
    6.239
    公斤/立方米
    3.8949E-1磅/立方英尺
  • 气体密度
    3.184
    公斤/立方米
    1.9877E-1磅/立方英尺
    3.0158
    公斤/立方米
    1.8827E-1磅/立方英尺
    2.9134
    公斤/立方米
    1.8188 e 1磅/英尺³
  • 在恒定压力下的Cp热容
    7.1941E-1
    千焦耳/(kg.K之间)
    1.7194E-1 BTU /磅∙°F719.41 J /公斤∙K1.7194E-1千卡/千克∙ķ
    7.4054E-1
    千焦耳/(kg.K之间)
    1.7699E-1 BTU /磅∙°F740.54焦耳/千克∙ķ1.7699E-1千卡/千克∙ķ
    7.5425 e 1
    千焦耳/(kg.K之间)
    1.8027E-1 BTU /磅∙°F754.25焦耳/千克∙ķ1.8027E-1千卡/千克∙ķ
  • 在恒定体积了Cv热容量
    5.9972E-1
    千焦耳/(kg.K之间)
    1.4334E-1 BTU /磅∙°F599.72焦耳/千克∙ķ1.4334E-1千卡/千克∙ķ
    6.2121E-1
    千焦耳/(kg.K之间)
    1.4847E-1 BTU /磅∙°F621.21焦耳/千克∙ķ1.4847E-1千卡/千克∙ķ
    6.3511E-1
    千焦耳/(kg.K之间)
    1.518E-1 BTU /磅∙°F635.11焦耳/千克∙ķ1.518E-1千卡/千克∙ķ
  • 液体(在沸点)/气体等效
    488.486
    摩尔/摩尔
    515.72
    摩尔/摩尔
    533.85
    摩尔/摩尔
  • 在水中的溶解度
    /
    /
    /
  • 比重
    2.46
    2.46
    2.46
  • 比容
    3.141E-1
    立方米/ kg的
    5.0314立方英尺/磅
    3.316E-1
    立方米/ kg的
    5.3117立方英尺/磅
    3.432E-1
    立方米/ kg的
    5.4975立方英尺/磅
  • 导热系数
    16.023
    毫瓦/米∙ķ
    9.2641E-3 BTU /英尺/小时/°F1.3787E-1卡/小时∙厘米∙℃下3.8296E-5卡/秒∙厘米∙℃下1.6023E-2 W /(米∙K)
    17.195
    毫瓦/米∙ķ
    9.9417E-3 BTU /英尺/小时/°F1.4795E-1卡/小时∙厘米∙℃下4.1097E-5卡/秒∙厘米∙℃下1.7195E-2 W /(米∙K)
    17.979
    毫瓦/米∙ķ
    1.0395E-2英热单位/英尺/小时/°F每小时1.547 e 1卡尔∙∙厘米°C4.2971E-5卡/秒∙厘米∙℃下1.7979E-2 W /(米∙K)
  • 蒸汽压力
    /
    /
    /
NF3
三氟化氮

液体/气体体积

计算液体或气体体积或质量

液相

在在1,013条沸点

M3 (卷)
公斤 (质量)

气相

在标准条件下(1013巴,15℃)

M3 (卷)
公斤 (质量)
NF3
三氟化氮

应用

这种分子在工业和医疗用途的例子

电子元器件

在硅薄膜光伏、半导体和显示器制造中,三氟化氮作为氟源用于清洁化学气相沉积(CVD)反应器。它也是二氧化硅蚀刻的选择性试剂。

电子元器件
NF3
三氟化氮

安全与兼容性

信息安全地使用这种分子

  • 重大危险源
  • 材料兼容性
  • GHS03
    氧化
  • GHS04
    高压气体
  • GHS07
    健康危害

毒性的阈值

  • VME
    10
    PPM
    三十
    毫克/立方米
  • VLE
    /
  • ILV-8H
    /
  • ILV 15MN
    /
  • TLV-TWA(美国)
    10
    PPM
    10ppm的1.E-3体积%1.E-5体积/体积
  • TLV-STEL(美国)
    /

致死浓度

  • CL50(大鼠,4H)
    3350
    PPM
    3350 PPM3.35E-1体积%3.35E-3体积/体积

气味

发霉的

金属

  • 满意的
  • 黄铜
    满意的
  • 蒙乃尔
    没有数据
  • 没有数据
  • 铁素体钢
    满意的
  • 不锈钢
    满意的
  • 没有数据
  • 没有数据

塑料

  • 聚四氟乙烯
    满意的
  • 聚三氟氯乙烯
    满意的
  • 聚偏氟乙烯
    满意的
  • 聚氯乙烯
    不建议
    爆炸和火灾的危险
  • 乙烯 - 四氟乙烯
    没有数据
  • 聚碳酸酯
    没有数据
  • 聚酰胺
    不建议
    爆炸和火灾的危险
  • 聚丙烯
    不建议
    爆炸和火灾的危险

弹性体


  • (isobutene-异戊二烯)橡胶
    不建议
    爆炸和火灾的危险
  • 丁腈橡胶NBR
    不建议
    爆炸和火灾的危险
  • 氯丁
    不建议
    爆炸和火灾的危险
  • 有机硅
    不建议
    爆炸和火灾的危险
  • 全氟
    没有数据
  • 含氟弹性体
    满意的
  • 氯丁橡胶
    没有数据
  • 聚氨酯
    不建议
    爆炸和火灾的危险
  • 乙烯 - 丙烯
    不建议
    爆炸和火灾的危险

润滑油

  • 基于碳氢化合物的润滑剂
    不建议
    爆炸和火灾的危险
  • 基于氟素润滑剂
    满意的

材料的相容性

建议:液化空气集团聚集在气体与材料的相容性数据,以帮助您评估使用的燃气系统的材料。尽管资料是从什么液化空气认为编译是可靠的来源(国际标准:与气体含量缸和阀门材料的兼容性;第1部分 - 金属材料:ISO11114-1(2012年3月),第2部分 - 非金属材料:ISO11114-2(2013年4月),它必须非常谨慎和工程判断中使用。如这些否原始数据可覆盖的浓度,温度,湿度,杂质和通气的所有条件。因此,建议此表只用于找出可能的材料在高压力和环境温度的应用程序。使用需要进行验证的材料选择给定应用的特定条件下的广泛调查和检验。联系地区液化空气集团的团队的专业服务。

NF3
三氟化氮

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一般信息

更多信息

首先尝试在1903年的合成后,奥托·拉夫由氟化铵的熔融混合物的电解获得的三氟化氮